產品類型
2.5D玻璃研磨拋光, 3D玻璃研磨拋光, 光罩玻璃研磨拋光.
產品描述
基本規格:
1. 下盤: ⏀ 610 mm
2. 承載盤 (Block): ⏀ 245 mm
3. 承載盤數量: 3個
4. 上壓盤重量: 氣缸+電控比例閥控制
5. 加工物件固定方式: 真空 (Vacuum)
6. 設備尺寸: W1200 x D1200 xH2000
應用範圍:
4吋矽晶圓拋光
6吋矽晶圓拋光
2.5D玻璃研磨拋光
光罩玻璃研磨拋光
銅製程拋光
氧化薄膜拋光
砷化鎵研磨拋光